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半導體廠-艾爾斯半導體

半導體製造廠除了需要高精度的生產設備,從清潔室、光刻機到各類高功率設備,半導體生產過程中涉及大量的能源消耗,且數據皆需嚴格資安的要求,但隨著能源成本不斷上漲以及ESG要求的逐步提升,半導體也必須擁有能源管理方案來細部量化設備電力數據,智能提升設備能源使用效率,確保生產過程的可持續發展。

解決方案

eKoEN服務模組化的架構以及不斷電的硬體架設,架設時產線仍可繼續作業,亦可提供地端架設服務,能很好的配合半導體廠資安嚴格的要求,讓廠區導入能管管理服務的流程最事適化,以利能源管理服務在半導體廠成為可持續發展目標。
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無人機控制中心

實時數據監控與分析

eKoEN能管理系統提供全天候的能耗數據監控,幫助半導體廠管理者隨時掌握各設備的能耗情況。

針對半導體生產過程中的高能耗設備(如化學機械研磨機、清潔室空調系統、晶圓清洗機等),即時監控可以發現潛在的能源浪費問題,實現精確調整,從而降低不必要的能耗。

效益

  • 即時監控高功率設備的運行狀態,快速發現異常,減少能源浪費。

  • 降低運營成本,提升設備運行效率,保障生產過程的穩定性。

設備異常監控與即時通知

針對半導體製程中的關鍵設備(如光刻機、刻蝕設備、清洗系統等),eKoEN能源管理系統可以進行全面監控。當系統檢測到設備運行異常(如過度消耗能源或異常溫度),會即時發送警報通知,幫助管理人員及時處理問題,避免設備故障或不必要的能源浪費。

 

效益

  • 即時發現設備異常,減少停機時間和維修成本,確保生產線的高效運行。

  • 延長設備壽命,降低設備故障風險,提升整體生產效能。

計算機圖形
圖表

預測性維護與設備性能優化

eKoEN能源管理系統能夠根據設備運行數據,預測設備的維修需求,實現預測性維護。對於半導體生產中關鍵的設備,系統將通過數據分析提前預測可能的故障,避免突發停機或過度消耗能源。

效益

  • 提前識別設備維修需求,減少突發故障的風險。

  • 延長設備使用壽命,減少維修成本,保持穩定的生產能力。

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